XRD残余应力检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
关于X射线衍射分析（XRD）定义：X射线衍射分析（X-ray diffraction，简称XRD），是利用晶体形成的X射线衍射，河北XRD残余应力检测，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。分析原理当一束X射线入射到晶体时，首先被原子（电子）所散射，每个原子都是一个新的辐射源，向空间辐射出与入射波同频率的电磁波。由于晶体是由原子、分子或离子按一定规律排列成的晶面组成，这些按周期平行排列的晶面的间距与入射X射线波长有相同的数量级，XRD残余应力检测测试，故由不同晶面散射的X射线相互干涉，XRD残余应力检测费用多少，并在符合布拉格方程的空间方向上产生强X射线衍射。布拉格方程2dsinθ=nλ，n=1，2…
其中：d为晶面间距，θ为入射X射线与相应晶面的夹角，XRD残余应力检测服务，λ为X射线的波长，n为衍射级数，其含义是：只有照射到相邻两晶面的光程差是X射线波长的n倍时才产生衍射。
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喷丸强化中的XRD残余应力检测
冷加工引起的塑性变形会导致#残余应力检测#残余应力的产生。残余应力的程度和性质（拉应力或压应力）取决于加工过程的程度和类型。
喷丸强化是一种冷加工工艺，在该工艺中，零件表面用称为喷丸的小球进行喷丸处理。该过程会在零件表面引起塑性变形，减少零件表面拉应力并引入有益的残余压应力。喷丸强化是类似于表面滚压的过程，两者都是表面塑性变形以形成残余压应力的深度分布。
在零件表面引入残余压应力可提高对疲劳失效和应力腐蚀开裂 (SCC) 的抵抗力，从而延长零件的使用寿命。
对钢、铝合金、钛合金、镍基合金和一些陶瓷来说很容易进行喷丸强化处理。而对于需要高循环疲劳和强度的零件，如弹簧、齿轮、凸轮轴、曲轴和涡轮叶片来说，喷丸强化是生产中关键的一步。
喷丸强化过程中的应力形成
典型的喷丸强化表面应力深度分布。在这个例子中，超过400 MPa 的残余压应力会在组件的次表面产生，在深度上应力方向和应力值的变化可通过 X 射线衍射法来确认。
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小角X射线衍射在纳米多层膜材料中，两薄膜层材料反复重叠，形成调制界面。当X射线入射时，周期良好的调制界面会与平行薄膜表面的晶面一样，在满足Bragg条件时，产生相干衔射，形成明锐的衍射峰。
由于多层膜的调制周期比金属和化合物的晶面间距大得多，所以只有小周期多层膜调制界面产生的XRD衍射峰可以再小角度衍射时观察到，而大周期多层膜调制界面XRD衍射峰则因其衍射角度更小而无法进行观测。
因此，对制备良好的小周期纳米多层膜可以用小角度XRD方法测定其调幅周期。
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