XRD薄膜检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，特别行政XRD薄膜检测，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
XRD进行定性分析时可以得到哪些有用信息？
X射线反射率（XRR：X-Ray Reflectivity）是一种表面表征技术，是利用X射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析XRR图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
XRR的特点：
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求，不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 XRR适用于纳米薄膜，XRD薄膜检测费用多少，要求厚度小于500nm
4 晶面膜，表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
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X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用
样品要求X射线衍射技术适用于多种类型产品的检测，送检样品可为粉末状、块状、薄膜、镀膜及其它形状。样品种类不同，具体要求也有所区别：
①粉末样品需要量约为2g以上（视其密度和衍射能力而定），XRD薄膜检测哪家好，送检粉末样品需预先干燥并研磨至大于200目；
②块状和薄膜样品要求宽度不小于1.5cm、厚度不大于0.5cm近似平面试样；
③对于测量金属样品的微观应力（晶格畸变），测量残余奥氏体，要求制备成金相样品，并进行普通抛光或电解抛光，消除表面应变层；
④若样品在空气中不稳定，会吸湿、风化、分解，则需采取保护隔离措施，若试样、、有毒，则应采取相应的防护措施。
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X射线衍射技术（XRD）在建筑材料检测中的应用
应用实例采用X射线衍射分析时，扫描速度是一个很重要的试验参数，要根据不同建材产品的特征选择合适的扫描速度。如果扫描速度太快，会使衍射线强度下降，线形发生畸变，导致峰位偏移，分辨率下降；如果扫描速度太慢，又太浪费时间。
试验前，应事先准备好X射线衍射仪等设备，并选择合适的扫描范围、扫描电压和电流等条件。
由于不同物质其衍射图谱在衍射峰数目、角度位置、相对强度次序以至衍射峰的形状均会有所不同，将衍射图谱与标准PDF卡片进行比对，通过样品的X射线衍射图谱与已知的晶态物质的X射线衍射图谱的对比分析便可以完成样品物相组成和结构的定性鉴定；通过对样品衍射强度数据的分析计算，可以完成样品物相组成的定量分析。
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