半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，江苏半导体XRD测试，以及行业应用技术开发。
技术参数
1、能量分辨率及灵敏度：
l XPS能量分辨率≤0.5 eV，UPS能量分辨率≤120 meV
l XPS灵敏度≥4，000，000 cps，UPS灵敏度≥2，200，000 cps；
2、电子能量分析器：
l 能量扫描范围5 eV - 3000 eV，小能量步长3 meV
l 通过能为1 eV - 400 eV，半导体XRD测试哪家好，连续可调
3、X射线光源：
l Al Ka单色化光源（hu = 1486.6 eV），聚焦可获得小束斑≤10 μm
l 束斑面积从10 μm至400μm聚焦连续可调，步长不超过5 μm
l X射线光源大功率150 W
4、紫外光源：
l He紫外光源（He I：21.2 eV，He II：40.8 eV）
l He II工作时，He II / He I强度比高于1/2
5、电子/离子中和源：
l 带有同源双束中和，同时具备电子和离子中和能力
l 满足绝缘样品UPS分析时的荷电中和
6、离子：
l 能量范围：≥4000 eV
l 大束流：4 μA
l 离子能量3 keV，束流3.5 μA时束斑不大于500 μm
l 束斑可调，自动对中
7、角分辨XPS：
l 角分辨XPS角度分辨优于1°
8、样品台：
l 测试样品厚度≤20 mm
l 带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台，用于系统标定
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X射线衍射技术(XRD技术)在电池领域的应用
负极材料的石墨化度分析及克容量估算
碳材料是目前锂离子电池理想的负极材料。碳材料的种类决定着锂离子电池的嵌锂电位、工作电压可逆性能等。而克容量是衡量碳材料的一个重要指标，但是测试克容量一般是做成电池测试，需要花费不少时间，测试值稳定性也比较差。石墨化度是指在含有石墨晶体及各种过渡态碳的复合材料中，石墨晶体所占的比例。理论上可以凭借石墨化度来估算碳材料的克容量。
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X射线衍射技术(XRD技术)在电池领域的应用
电芯失效分析
锂离子电池在使用过程中，经常由于过充、过放、短路、高温等原因造成电芯寿命减少，甚至失效。因此应用XRD技术来进行锂离子电池的热失效分析，半导体XRD测试机构，如从燃烧的残留物进行XRD分析，初步判断失效原因。
硬射线探测技术可在Empyrean衍射平台上使用硬射线XRD对软包结构锂电池和商用成品锂电池进行原位充放电衍射实验，从而为全电池结构的失效分析和工艺控制提供了新的重要的无损分析手段。
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