XRD残余应力检测机构 半导体研究所

XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

EDS及XRD的性能区别

1、EDS是针对一些元素的含量进行测试，XRD是测试晶体结构的。

2、EDS (Energy Dispersive Spectrometer）能谱分析，西藏自治XRD残余应力检测，能谱仪是与扫描电子显微镜或透射电镜相连的设备。在微米或纳米尺度上对扫描电镜或透射电镜内通过电子碰撞所产生的X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。分析范围：4-100号元素定性定量分析。

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X射线衍射中，XRD残余应力检测服务，Kα，Kβ具体意义

X射线管发生出来的不是纯净的单色光，包含多种波长的射线，主要的是K系射线。K系射线是指阴极电子碰撞阳极，使阳极电子产生K 激发，击走K 层电子后，L层或M 层电子填充K 层电子而产生的X 射线。

K 系射线又可以细分为 Kα（L 层电子填充）和 Kβ（M 层电子填充）两种波长略有差异的两种射线。而 X 射线衍射仪要求使用单色 X 射线。因此，需要在 XRD 测试时把后者除掉，XRD残余应力检测机构，传统的方法是在光路上加入一个滤波片（如 Ni）。现在一般使用铜靶，在光路上增加一个石墨晶体单色器来去除 Kβ射线。单色器可以去除衍射背底，也可以去除 Kβ射线的干扰。Cu的特征谱线波长为：Kα1(1.54056 ?)，Kα2 (1.54439 ?)，Kβ1 (1.39222 ?)。对于铜靶，XRD残余应力检测多少钱，Kα波长取Kα1与Kα2的加权平均值，其值为1.54184 ?(布拉格方程和谢乐公式中的λ)。

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X射线衍射应用：

1、当X射线波长λ已知时(选用固定波长的特征X射线)，采用细粉末或细粒多晶体的线状样品，可从一堆任意取向的晶体中，从每一θ角符合布拉格条件的反射面得到反射。测出θ后，利用布拉格公式即可确阵平面间距d、晶胞大小和晶胞类型;

2、利用X射线结构分析中的粉末法或德拜-谢乐(Debye—Scherrer)法的理论基础，测定衍射线的强度，就可进一步确定晶胞内原子的排布。

3、而在测定单晶取向的劳厄法中所用单晶样品保持固定不变动（即θ不变），以辐射线束的波长λ作为变量来保证晶体中一切晶面都满足布拉格条件，故选用连续X射线束。再把结构已知晶体（称为分析晶体）用来作测定，则在获得其衍射线方向θ后，便可计算X射线的波长λ，从而判定产生特征X射线的元素。这便是X射线谱术，可用于分析金属和合金的成分。

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