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香港特别行政XRD掠入射(GIXRD)检测 半导体研究所

发布日期 :2022-10-21 10:11发布IP:123.58.44.124编号:10685460
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XRD掠入射(GIXRD)检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


1923年,康普顿报道了当X射线用几乎与样品表面平行的小角度入射到理想光滑平整的样品表面上时,能够出现镜面反射的特征。入射X射线在样品表面发生全反射的前提是入射角小于或等于临界角αi(入射角)≤αc(αc临界角)。当发生全反射时,由于X射线被全反射,因此探测到的信息几乎全部是样品表面薄层的信息。在对衬底上的薄膜进行分析时,全反射法可以避免来自衬底的干扰信息。

掠入射X射线衍射(GIXRD)是一种让X射线略过样品表面的技术,这种技术能够更真实地表征出薄膜(特别是共辄聚合物薄膜)的微结构。测试光是平行光,相对于常规的衍射光来说能量较小,因此掠入射测试XRD的谱图峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息,也不容易测到基底,因此掠入射XRD专门用于测试薄膜样品。薄膜尺寸没有特别要求,但是需要测试面平整光洁,不要有遮挡物,XRD掠入射(GIXRD)检测价格,这样测试结果才真实可信。




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XRD同一种杂质在不同试样检测中峰位置不一样

杂质在不同试样出峰不一定一样,杂质有自己的特征峰,特征峰里有强峰也有弱峰,XRD测试图谱中,XRD掠入射(GIXRD)检测多少钱,杂质在试样里不一定会出强特征峰,香港特别行政XRD掠入射(GIXRD)检测,但是一般会出一些特征峰,对比杂质的特征峰可以判断杂质存在与试样中。通过特征峰只能证明杂质的存在,不能看出含量多少,要测含量多少还得做进一步测试,XRD掠入射(GIXRD)检测哪家好,比如XRF或元素分析。

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便携式XRD分析仪

  XRD产品实践

  映SHINE便携式X射线衍射仪是苏州浪声科学仪器有限公司结合XRD、XRF和计算机软件等多项技术,自主研发的一款便携式X射线衍射设备。仪器通过对样品进行X射线衍射,分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息(材料主要成分、次要成份或微量成份的全晶相ID信息),具有制样简单、无污染、快捷、测量精度高、能得到有关晶体完整性的大量信息等优点,是研究物质的物相和晶体结构的主要方法。



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