XRD倒易空间（RSM）检测 半导体研究所

XRD倒易空间（RSM）检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，XRD倒易空间（RSM）检测哪家好，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

XRD可以应用于多个行业，提供简单、直接的相分析。常见的XRD应用包括：

　　矿石与矿产

　　石油化工

　　危险物

　　制药业药品成分辨别

　　浪声XRD产品优势

　　便携式：仪器采用防水防尘箱一体机设计，无任何机械移动部件，轻便小巧，方便携带，可自由进行实验室/野外现场科学研究。

　　集成性：XRD与XRF 技术集成，在每次检测中，能够同时采集XRD和XRF的X射线光子数据，提供物质成分、物相及结构信息，从而促进检测结果更加准确。

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为了能够测量不同的材料和取向，X射线管和检测器可以使用相应的圆圈来移动，这也允许常规衍射测量。

因此，Omega扫描测量可以与摇摆曲线扫描相结合，用于评估晶体质量。而且初级光束准直器配备有Ge切割晶体准直器，这两种模式都可以快速便捷地交换使用。

这种类型的衍射仪还可以配备一个X-Y平台，用于在转台上进行3Dmapping绘图。它可以应用于整体晶体取向确定以及摇摆曲线mapping测量。

另外，针对碳化硅SiC、镓GaAs等晶圆生产线，可搭配堆叠装置，一次性同时定位12块铸锭，XRD倒易空间（RSM）检测测试，大幅度提高晶圆生产效率和减小晶圆生产批次误差。

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小角衍射几何分类：

（1）共面非对称衍射（EAD），这种小角衍射的几何特点是衍射平面与样品表面之间形成近似布拉格角，贵州XRD倒易空间（RSM）检测，此时，X射线的入射角与衍射角比较小，衍射线和入射线以及样品表面的法线在同一个平面。

（2）共面掠入射衍射（GID），这种情况下掠入射衍射面和样品表面互相垂直，入射X射线和出射X射线与样品表面之间的角度都很小，此时，XRD倒易空间（RSM）检测价格，衍射线和入射线以及样品表面的法线在同一平面。

（3）非共面掠射衍射，这种情况下的小角衍射的几何特点就是把共面非对称衍射和共面掠入射衍射几何特点的联合。它含有与样品表面法线倾斜成很小角度的原子平面的衍射，所以样品表面和倒易矢量之间的角度很小；也能够通过小角度入射或者小角度出射的微小改变形成的小角X射线非对称衍射。入射线，反射线和衍射线不在同一平面，但均与样品表面间存在较小的夹角并且反射平面和样品表面垂直。

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