XRD倒易空间（RSM）检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，XRD倒易空间（RSM）检测分析，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，XRD倒易空间（RSM）检测平台，以及行业应用技术开发。
小角衍射的特点：
（1）小角X射线衍射具有和常规XRD的功能，可以确定物质的晶相，结晶度，晶畴尺寸，取向度等
（2）通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线，XRD倒易空间（RSM）检测测试，从而用来消除或减少衬底的影响
（3）可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等
（4）小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。
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X射线衍射中，Kα，Kβ具体意义
X射线管发生出来的不是纯净的单色光，包含多种波长的射线，主要的是K系射线。K系射线是指阴极电子碰撞阳极，使阳极电子产生K 激发，击走K 层电子后，L层或M 层电子填充K 层电子而产生的X 射线。
K 系射线又可以细分为 Kα（L 层电子填充）和 Kβ（M 层电子填充）两种波长略有差异的两种射线。而 X 射线衍射仪要求使用单色 X 射线。因此，需要在 XRD 测试时把后者除掉，传统的方法是在光路上加入一个滤波片（如 Ni）。现在一般使用铜靶，在光路上增加一个石墨晶体单色器来去除 Kβ射线。单色器可以去除衍射背底，也可以去除 Kβ射线的干扰。Cu的特征谱线波长为：Kα1(1.54056 ?)，Kα2 (1.54439 ?)，Kβ1 (1.39222 ?)。对于铜靶，Kα波长取Kα1与Kα2的加权平均值，其值为1.54184 ?(布拉格方程和谢乐公式中的λ)。
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EDS及XRD的性能区别
1、EDS是针对一些元素的含量进行测试，XRD是测试晶体结构的。
2、EDS (Energy Dispersive Spectrometer）能谱分析，能谱仪是与扫描电子显微镜或透射电镜相连的设备。在微米或纳米尺度上对扫描电镜或透射电镜内通过电子碰撞所产生的X射线的能量进行测量来确定物质化学成分。分析范围：4-100号元素定性定量分析。
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XRD倒易空间（RSM）检测平台-半导体XRD薄膜测试由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所为客户提供“结构性能测试,光电性能测试,性能形貌测试”等业务，公司拥有“半导体”等品牌，专注于技术合作等行业。，在广州市天河区长兴路363号的名声不错。欢迎来电垂询，联系人：王小姐。