XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
Omega扫描方法的原理如图1所示。在测量过程中，XRD残余应力检测价格，晶体以恒定速度围绕转盘中心的旋转轴，即系统的参考轴旋转，X射线管和带有面罩的数据探测器处于固定位置不动。
X射线光束倾斜着照射至样品，经过晶体晶格反射后探测器进行数据采集，在垂直于旋转轴（ω圆）的平面内测量反射的角位置。
选择相应的主光束入射角，并且检测器前面的面罩进行筛选定位，从而获得在足够数量的晶格平面上的反射，进而可以评估晶格所有数据。整过过程必须至少测量两个晶格平面上的反射。
对于对称轴接近旋转轴的晶体取向，记录对称等值反射的响应数（图2），整个测量仅需几秒钟。
利用反射的角度位置，计算晶体的取向，例如，通过与晶体坐标系有关的极坐标来表示。此外，omega圆上任何晶格方向投影的方位角都可以通过测量得到。
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物相定性分析中追求数据吻合程度时，
（1）d值比I/I1值更重要，更优先。因为d测试精度高，重现性好；而强度受纯度（影响分辨率）、结晶度（影响峰形）样品细微度（同Q值时吸收不同），辐射源波长（同d值，角因子不同）、样品制备方法（有无择优取向等）、测试方法（照相法或衍射仪法）等因素影响，不易固定。
（2）低角度衍射线比高角度线重要。对不同晶体而言低角度线不易重迭，而高角度线易重迭或被干扰。
（3）强线比弱线重要。尤其要重视强度较大的大d值线。
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具有主要已知取向的晶体可以用固定的排列方式进行布置，但偏离它的范围一般是在几度，有时偏差会达到十几度。在特殊情况下（立方晶体），它也适用于任意取向。
常规晶格的方向是和转台的旋转轴保持一致，获得晶体表面参考的一种可能性是将其地放置在调整好旋转轴的测量台上，并将测量装置安装在测量台下面。
如果要研究大晶体，或者要根据测量结果进行调整，就把晶体放置在转台上。
上表面的角度关系可以通过附加的光学工具获取。方位角基准也可以通过光学或机械工具来实现。
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