XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
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小角衍射的特点:
(1)小角X射线衍射具有和常规XRD的功能,可以确定物质的晶相,结晶度,晶畴尺寸,甘肃XRD残余应力检测,取向度等
(2)通过对入射X射线的角度的控制来减少照射到衬底中的X射线,从而用来消除或减少衬底的影响
(3)可以探测多层膜的层数、厚度和表面粗糙度等
(4)小角X射线衍射对几何光路的要求比常规X射线衍射仪的几何光路要求要严得多。
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XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
含2716个相的常用相程序;
含3549个相的矿物程序;
含6000个相的金属和合金程序;
含31799个相的无机相程序
含11378个相的有机相程序.每张片尾记录一个物相。
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