半导体研究所 黑龙江XRD残余应力检测

XRD残余应力检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，XRD残余应力检测价格，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

具有主要已知取向的晶体可以用固定的排列方式进行布置，但偏离它的范围一般是在几度，有时偏差会达到十几度。在特殊情况下（立方晶体），它也适用于任意取向。

常规晶格的方向是和转台的旋转轴保持一致，黑龙江XRD残余应力检测，获得晶体表面参考的一种可能性是将其地放置在调整好旋转轴的测量台上，并将测量装置安装在测量台下面。

如果要研究大晶体，或者要根据测量结果进行调整，就把晶体放置在转台上。

上表面的角度关系可以通过附加的光学工具获取。方位角基准也可以通过光学或机械工具来实现。

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薄膜测试xrd怎么计算x射线入射的深度

谢勒公式D=kλ/FWHM cosθ计算

D：晶粒尺寸（不叫离子尺寸的）

k：0.89

λ：XRD测试的x射线的波长，一般分kα1和kα2，具体用那种需要问测试老师。

FWHM:半高宽

θ：衍射角

具体方法：选定强的衍射峰，测量其衍射角和半高宽（可用jade读取），然后带入公式计算即可。

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小角衍射几何分类：

（1）共面非对称衍射（EAD），这种小角衍射的几何特点是衍射平面与样品表面之间形成近似布拉格角，此时，X射线的入射角与衍射角比较小，衍射线和入射线以及样品表面的法线在同一个平面。

（2）共面掠入射衍射（GID），这种情况下掠入射衍射面和样品表面互相垂直，入射X射线和出射X射线与样品表面之间的角度都很小，此时，衍射线和入射线以及样品表面的法线在同一平面。

（3）非共面掠射衍射，这种情况下的小角衍射的几何特点就是把共面非对称衍射和共面掠入射衍射几何特点的联合。它含有与样品表面法线倾斜成很小角度的原子平面的衍射，所以样品表面和倒易矢量之间的角度很小；也能够通过小角度入射或者小角度出射的微小改变形成的小角X射线非对称衍射。入射线，反射线和衍射线不在同一平面，但均与样品表面间存在较小的夹角并且反射平面和样品表面垂直。

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