XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
x射线应力测定法优点和实际应用
优点
x射线应力测定法可以无损地测量构件中的应力或残余应力，特别适宜于测量薄层和裂纹的应力分布。是检验产品质量，研究材料强度，选用较佳工艺的一种重要手段。
实际应用测量
测定应力时，通常只要测量4～5个具有不同入射角（一般取0°、15°、30°45°、60°）的X射线的衍射角，作出 曲线，用Z小二乘法求出斜率，就可确定 。这就是用X射线测定应力的基本方法—— 法，其精度较高。此外，还有0°-45°法、单一倾斜法等。
曾经先后采用过照相法（由底片记录衍射环半径）和计数管法（由计数管记录衍射角，见图3），接收、记录X射线的衍射，如用电子计数器记录宽大衍射条纹的峰值强度位置时，可采用较的法和常用的半高法等。
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关于XRD图谱
1）衍射线宽化的原因
用衍射仪测定衍射峰的宽化包括仪器宽化、试样本身引起的宽化。试样引起的宽化又包括晶块尺寸大小的影响、不均匀应变（微观应变）和堆积层错（在衍射峰的高角一侧引起长的尾巴）。后二个因素是由于试样晶体结构的不完整所造成的。
2）半高宽、样品宽化和仪器宽化
样品的衍射峰加宽可以用半高宽来表示，样品的半高宽FWHM是仪器加宽FW（I）和样品性质（晶块尺寸细化和微观应力存在）加宽FW（S）的卷积。为了求得样品加宽FW（S），必须建立一个仪器加宽FW（I）与衍射角θ之间的关系，也称为FWHM曲线。 该曲线可以通过测量一个标样的衍射谱来获得。标样应当与被测试样的结晶状态相同，标样必须是无应力且无晶块尺寸细化的样品，晶粒度在25μm以上，如NISTA60Si和LaB6等。
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动力学衍射理论
Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用，认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合，而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同，而对大块完整的晶体，则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。
布拉格方程
1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg，W.L.Bragg)在劳厄发现的基础，不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构，并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程：2dsinθ=nλ
式中d为晶面间距；n为反射级数；θ为掠射角；λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。
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