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XRD摇摆曲线检测平台 半导体XRD薄膜测试

发布日期 :2022-11-23 16:42发布IP:123.58.44.124编号:11021441
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XRD摇摆曲线检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,新疆维吾尔自治XRD摇摆曲线检测,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


制作试片的技巧

压片法:粉末均匀撒入样品池——用小刀剁实压紧——刮去多余凸出的粉末

涂片法:粉末撒在25mm*35mm*1mm的载玻片上——滴上足量的或酒精(假如试样在其中不溶解)——待/酒精挥发

两种制备几乎无择优取向试片的方法:(塑合法)(喷雾法)




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双晶衍射仪法

双晶衍射仪的原理大致为,一束特征X射线经准直后入射到高度完整的参考晶体a上,a可以去对称或不对称Bragg几何把X射线作选择反射。由于a的高度完整,使自a反射的X射线的单色性和发散度都得到明显改善。改善的X射线入射到样品上,XRD摇摆曲线检测费用多少,样品的衍射记录在探测器上。

为了提高入射线的平行度和色性,可用多块晶体代替参考晶体a,如果把样品在其选定衍射的Brag角附近绕垂直于微入射面的轴转动,就可获得样品的反射强度随角度变化的曲线,即所谓摇摆曲线。从摇摆曲线可提取的信息有:



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计数管法

用X射线测定应力,其精度受到许多因素的影响,如被测试件材料的结构、晶粒的粗细程度、衍射面的选择、X射线的波长、采用的测量方法、被测试件表面的平滑度和处理情况等。

70年始使用的多缝平行光阑的平行光束X射线应力测定仪,XRD摇摆曲线检测价格,具有限制X射线入射和衍射光束的水平发散度的效能,提高了测量的精度。X射线测定应力的精度,已能达到±(1~2)千克力/毫米2。




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