半导体XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,半导体XRD检测费用多少,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
制作试片的技巧
压片法:粉末均匀撒入样品池——用小刀剁实压紧——刮去多余凸出的粉末
涂片法:粉末撒在25mm*35mm*1mm的载玻片上——滴上足量的或酒精(假如试样在其中不溶解)——待/酒精挥发
两种制备几乎无择优取向试片的方法:(塑合法)(喷雾法)
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1)若样品为退火态粉末,此时无应变产生,衍射线宽化完全因样品晶粒尺寸过小导致的,半导体XRD检测哪里可以做,此时应选择SIZE only。
2)若样品为合金块状样品 ,结晶完整且加工过程中没有破碎,此时,线性宽化是由微观应变引起的,选择Strain only。
3)如样品存在上述两种情况,则应选择size/strain。
注意
a.利用XRD进行晶粒大小计算时,前提是假定晶粒为“球形”,所以其测出来的粒径不是很可靠,结果总是小于SEM和TEM,但无法进行和TEM时,其结果仍具有一定的参考依据。
b.该方法获得的晶粒尺寸是平均晶粒尺寸,是不同晶面上各衍射方向晶粒度大均值,若需要计算某一晶面上的晶粒尺寸,可采用“计算峰面积”命令。
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样品的挑选:
宏观特征:应该是透明,没有裂痕,表面干净,有光泽。(不是所有晶体都是透明的,但是好的晶体样品一定是没有裂痕的且没有明显的突出和凹陷,重庆半导体XRD检测,因为裂痕处会产生晶格错位,影响测试结构的准确性)
形貌特征:晶体样品如果是圆球状,那么这个晶粒样品很可能是非晶态,在测试过程中无法出现衍射图谱。晶体样品如果是树枝状活簇状晶体,尽量不要在这些上切割一个晶粒,好选择单一的一粒,因为切割会影响测试结果。
其他特征:晶体样品一般不溶于水,一般溶于水的样品都是无机盐。
样品的大小:
光源所带的准直器的内径决定了X射线强度一致区域的大小,半导体XRD检测机构,晶体的尺寸一般不能超过准直器的内径(常用的为0.5-0.6mm)。(我们要求是大于50微米)
晶体合适的尺寸是:纯有机物0.3-0.7mm,金属配合物或金属有机物0.15-0.5mm,纯无机物0.1-0.3mm。
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