XRD小角度检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，山西XRD小角度检测，以及行业应用技术开发。
在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时在与很多同学沟通中了解到，XRD小角度检测服务，好多同学对单晶XRD测试不太了解，针对此，相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；
单晶的定义：所谓单晶(monocrystal， monocrystalline， single crystal)，即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列，或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成，整个晶体中质点在空间的排列为长程由序。
单晶的性质：均匀性、各向异性、固定熔点、规则外形、对称性等。
单晶X射线衍射：利用单晶体对 X射线的衍射效应来测定晶体结构的实验方法。其中X射线衍射在材料学、化学、矿物学及晶体学中有着极其重要的作用，他是研究一切结晶物质结构和物相的主要手段。单晶结构分析应用范围十分广泛，凡是可获得单晶体的样品都可用于分析。另外，该方法样品用量少，只需0.5mm大小的晶体。
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1）若样品为退火态粉末，此时无应变产生，衍射线宽化完全因样品晶粒尺寸过小导致的，此时应选择SIZE only。
2）若样品为合金块状样品 ，结晶完整且加工过程中没有破碎，XRD小角度检测哪里可以做，此时，线性宽化是由微观应变引起的，选择Strain only。
3）如样品存在上述两种情况，则应选择size/strain。
注意
a.利用XRD进行晶粒大小计算时，前提是假定晶粒为“球形”，所以其测出来的粒径不是很可靠，结果总是小于SEM和TEM，XRD小角度检测分析，但无法进行和TEM时，其结果仍具有一定的参考依据。
b.该方法获得的晶粒尺寸是平均晶粒尺寸，是不同晶面上各衍射方向晶粒度大均值，若需要计算某一晶面上的晶粒尺寸，可采用“计算峰面积”命令。
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动力学衍射理论
Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用，认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合，而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同，而对大块完整的晶体，则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。
布拉格方程
1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg，W.L.Bragg)在劳厄发现的基础，不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构，并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程：2dsinθ=nλ
式中d为晶面间距；n为反射级数；θ为掠射角；λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。
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