XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
动力学衍射理论
Ewald的理论称为动力学理论。该理论考虑到了晶体内所有波的相互作用，认为入射线与衍射线在晶体内相干地结合，XRD残余应力检测平台，而且能来回地交换能量。两种理论对细小的晶体粉末得到的强度公式相同，而对大块完整的晶体，则必须采用动力学理论才能得出正确的结果。
布拉格方程
1913年英国物理学家布拉格父子(W.H.Bragg，河北XRD残余应力检测，W.L.Bragg)在劳厄发现的基础，不仅成功地测定了NaCl、KCl等的晶体结构，并提出了作为晶体衍射基础的公式──布拉格方程：2dsinθ=nλ
式中d为晶面间距；n为反射级数；θ为掠射角；λ为X射线的波长。布拉格方程是X射线衍射分析的根本依据。
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X射线衍射仪
基本构成
(1)样品及样品位置取向的调整机构系统样品须是单晶、粉末、多晶或微晶的固体块。
(2)高稳定度X射线源提供测量所需的X射线，改变X射线管阳极靶材质可改变X射线的波长， 调节阳极电压可控制X射线源的强度。
(3)射线检测器 检测衍射强度或同时检测衍射方向，通过仪器测量记录系统或计算机处理系统可以得到多晶衍射图谱数据。
(4)衍射图的处理分析系统现代X射线衍射仪都附带安装有衍射图处理分析软件的计算机系统， 它们的特点是自动化和智能化。
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单晶X射线衍射是利用单晶体对 X射线的衍射效应来测定晶体结构的实验方法。依照强度记录方式的不同，可分为照相法和衍射仪法两类。
照相法使射线作用在胶片上，然后测量底片上衍射点的黑度来获得衍射线的强度数据，XRD残余应力检测费用多少，根据实验装置和条件的差别，又分为多种方法。
劳厄照相法用连续波长的 X射线照射到静止不动的单晶体上，通常采用平板底片，所摄得的衍射图称为劳厄图。劳厄图常用来测定晶体的对称性和用于晶体的定向等。
优点
形貌观察与结构分析结合
使晶体结构的研究直观，比X射线衍射的简单。
散射能力强，曝光时间短
缺点
只能用来分析方向问题，不能用来测量衍射强度
要求试样薄，试样制备工作复杂
在精度方面也远比X射线低
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