半导体研究所 海南XRD残余应力检测

XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

计数管法

用X射线测定应力，其精度受到许多因素的影响，如被测试件材料的结构、晶粒的粗细程度、衍射面的选择、X射线的波长、采用的测量方法、被测试件表面的平滑度和处理情况等。

70年始使用的多缝平行光阑的平行光束X射线应力测定仪，具有限制X射线入射和衍射光束的水平发散度的效能，提高了测量的精度。X射线测定应力的精度，已能达到±（1～2）千克力/毫米2。

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要有高质量的衍射数据如果要做结构分析，需要很高质量的衍射数据。准确的衍射强度数据对结构测定非常重要。

除了要认真校正衍射仪，测定出准确的衍射角度外，还要保证衍射强度计数足够大，XRD残余应力检测哪里可以做，并且扫描范围也要足够大。

样品要装平装满，还要尽量避免择优取向；强峰计数至少一般要上万（甚至几万，几十万），所以要步进扫描或很慢的扫描。如用铜靶，扫描角度范围也要到120度以上。有人发给我的衍射数据计数只有500，背景噪声很高，就不能准确判断弱峰位置，也很难用来做新相的结构分析。低角度的衍射线对新相的指标化很重要，所以要从3度-5度 (2theta) 开始扫描。

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1.当一个谱图中出现多个物相时，怎么区分出来？如果有部分峰找不到对应的物相怎么解释？

可以用软件直接区分。找不到物相有两个原因，一是数据库不够新，这种物质在数据库里面没有，需要用更新的数据库来搜索；二是合成了新物质，XRD残余应力检测哪家好，现在还没有收录到数据库里面，所以定性找不到对应物质。

2.长程有序是指什么啊？

长程有序就是在特定方向按照一定顺序一直排列下去，叫做长程有序，可以理解成射线或者直线的意思，整齐划一的感觉。

3.为避免测试条件的影响，是不是要对比的样品应该同一批送样测试呢？

是的，需要对比的样品尽量同一批次送样测试，可以消除外在影响。

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