XRD残余应力检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,湖南XRD残余应力检测,以及行业应用技术开发。
高精度测角仪是怎么实现θ/2θ倍角转动的?
这种装置能够保证严格的倍角同步吗?θ/2θ是两个同轴的园,XRD残余应力检测实验室,θ是带动样品转动的园,而 2θ是探测器转动的园,这样设计的目 的是为了保证样品在转动中的衍射焦点始终在探测器转动的大园上。现代的衍射仪用2 个步 进电机分别独立控制θ和 2θ园的转动,控制电路能够保证两个园按 1:2 转速比转动,保证 两个园的转动严格倍角同步。磁性材料比如 NdFeB 或者 NdFeN 的粉末,是不是会因为磁性的存在会产生择优取向?磁性材料肯定是具择优取向的,否则就没有磁性了,制样时应当磨成粉末,可以抑制这种取 向趋势。"择优取向"会使很多本来有的衍射峰出不来。
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强度到底应该如何表示?
前面已经提到,衍射强度的定义与RIR值的定义有差别。因此,在计算物相的质量分数时到底应当用峰高还是用积分面积来作为衍射强度呢?如果使用峰高,则与衍射的积分强度定义相背,肯定会带来误差,如果使用积分强度,又与RIR值定义相背。因此,不论你使用哪个值来作为强度都会存在较大的误差。
现在,我们来看看,误差到底从哪里出来的。上面已经提到,只有当衍射峰的半高宽完全相同时,衍射峰高与面积相当。那么,在什么情况下会出现衍射峰的宽度不同呢?
(1)衍射峰宽度是衍射角的函数,不同衍射角的衍射峰宽度是不同的。这一点我们很能看得明白,低角度的衍射峰总是较窄,但当衍射角较高时,我们看到的衍射峰低而宽,有时漫散得我们都不想把它们扫描出来。
(2)不同晶粒尺寸的衍射峰宽度是不同的。细晶粒物相的衍射峰低而宽,结晶完好的粗晶粒物相的衍射峰锐而窄。
(3)存在应力的样品,同样使衍射峰变宽。
(4)如果存在微观的缺陷,会使衍射峰的线形变化,也会影响面积与峰高的关系。
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用 XRD 图来精修出分子结构研究分子的性质, 收集 XRD 时应注意些什么?
强度要高,中等强度的衍射峰强度要达到 5000 计数以上;衍射峰的分辨要尽可能的好;扫描范围要大,大 d 值的峰不能缺失。衍射峰的强度和很多因素有关,比如样品的衍射能力,性质,还有仪器功率,测试方法,检测器的灵敏度等等。
做 XRD 时步长一般为 0.02 度,但是如果要做 Rietveld 分析,出了强度要求 500 以上,步长有没有什么要求啊?
一个半峰宽内有 3-5个点就可以了,步长一般为 FWHM 的 0.2-0.3 就可以了。强度要求在10000-20000之间。
3如果用普通的xrd仪器如 brucker D8或者 philips 等测试粉末的 xrd,扫描速度需要多慢才适合用 gsas 等方法作rietveld分析,XRD残余应力检测价格,需要加内标吗?
扫描速度的快慢是根据你的数据强度要求来确定的,如果要做结构精修,中等强度的衍射峰的强度应该在 5000 以上,至于内标是不需要的。
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