XRD残余应力检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，广东XRD残余应力检测，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
残余应力是类内应力的工程名称。残余应力在工件中的分布一般是不均匀的，而且，残余应力会对工件的静强度、疲劳强度、形状尺寸稳定性和耐蚀性等会产生显著的影响。因此，XRD残余应力检测平台，残余应力的测定非常重要。
残余应力测定方法可分为有损检测法和无损检测法。有损检测法是通过机械加工的方式将被测工件的一部分去除，局部残余应力得到释放从而产生相应的应变和位移，根据相关力学原理推算工件的残余应力。常用的有损检测方法有钻孔法与环芯法。无损检测法是利用残余应力会引起材料中某一物理量(如晶面间距、超声波在材料中的传播速率或磁导率)的变化，XRD残余应力检测机构，通过建立此物理量与残余应力之间的关系，测定相关物理量从而计算出残余应力。常用的无损检测方法有X射线衍射法、中子衍射法、磁性法与超声法，其中，X射线衍射法因其原理较为成熟、方法较为完善，是目前在国内外应用为广泛的方法，其测试设备也越来越完善，既有功能齐全的实验室仪器，也有适用于现场测量的便携式仪器，还有适于特殊场合的检测装置。
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X射线衍射分析( X-raydiffraction ，简称XRD )，是利用晶体形成的X射线衍射 ，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。
仪器技术参数
小角衍小角可以达到0.4度，主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度，可以接收到小于10度的衍射峰。
(1 )测量精度:角度重现性 0.0001° ;测角仪半径≥200mm ，测角圆直径可连续变
(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°C;
(3)大输出: 3KW ;稳定性: 0.01% ;管电压: 20~ 60kV(1kV/1step) ;管电流: 10~ 60mA。
送样要求
固体粉末:均均干燥，粒度小于70um (过200目) ， 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面，XRD残余应力检测费用多少，尺寸约为20mmx 10mmx 2mm
应用领域
物相分析，可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析，通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。
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晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律，参与衍射的晶面，其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上，如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角，通常用ψ表示。
依据布拉格定律，可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0，便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
S1，S2与S3为试样表面坐标轴，S1由研究人员定义。图3为X射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律，这些晶面的应变是由O点的应力张量决定的，并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此，有可能依据这些的关系求得O点的三维应力，包括应力σφ。由弹性力学可以导出OP方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说，X射线穿透深度只有几微米至几十微米，因此通常假定σ33=0。
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