XRD残余应力检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
表征光路及其需要用到的附件
在进行薄膜测试时，我们需要特殊的X射线衍射仪。当我们使用普通测试粉末衍射的聚焦光束来进行物相分析时影响并不大，但是当我们需要评估薄膜质量时，使用平行光路就更为合适了。这时候我们就需要利用特别的光路设计将发散的聚焦光路转换为平行光路。
外延薄膜通常都是的结晶半导体化合物。为了表征其晶体质量也就是评估薄膜晶体的与否，这时候我们需要用到Rocking Curve即摇摆曲线来对薄膜进行评估。并且这时候我们需要在光路中设计一些元件来过滤掉Cu靶辐射出来的CuKα2和CuKβ射线，仅有CuKα1射线波长，从而提高光路的分辨率，防止别的X射线的干扰。
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XRD进行定性分析时可以得到哪些有用信息？
X射线反射率（XRR：X-Ray Reflectivity）是一种表面表征技术，是利用X射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析XRR图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
XRR的特点：
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求，不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 XRR适用于纳米薄膜，要求厚度小于500nm
4 晶面膜，表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
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XRD小角度测试X 射线散射效益来自于物质内部1～100nm 量级范围内电子密度的起伏。对于完全均匀的物质，XRD残余应力检测哪家好，其散射强度为零。
当出现第二相或不均匀区时才会发生散射，上海XRD残余应力检测，且散射角度随着散射体尺寸的增大而减小。
XRD小角度测试X射线散射强度受粒子尺寸、形状、分散情况、取向及电子密度分布等的影响。
对于稀疏分散、随机取向、大小和形状一致，且每个粒子内部具有均匀电子密度的粒子组成体系， 对于不规则形状的粒子体系，其散射强度不同，表现为散射函数不同。
同样，具有一致取向的粒子构成的稀疏粒子体系与无取向的粒子体系的散射强度也不同。
XRD小角度测试X射线散射可测尺寸分布，回旋半径，相关距离，平均壁厚，分形维度，XRD残余应力检测服务，以及分数等，可提供变温(室温~230°C)，原位拉伸散射测试。
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