半导体单晶XRD靠谱 台湾XRD残余应力检测

XRD残余应力检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，XRD残余应力检测报告，以及行业应用技术开发。

布拉格定律

当一束具有一定波长λ的X射线照射到多晶体上时，会在一定的衍射角2θ上接收到反射的X射线强度极大值(即衍射峰)，这便是X射线衍射现象，如图1所示。X射线波长λ、衍射晶面间距d和布拉格角θ之间满足公式(1)。在X射线衍射残余应力分析中，选用合适靶材的X射线管，即选定合适的波长λ，通过衍射装置测定衍射角2θ，就可以计算出相应晶面的晶面间距d。

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如何看懂XRD图谱

XRD图谱峰的面积表示晶体含量，台湾XRD残余应力检测，面积越大，晶相含量越高。峰窄说明晶粒大，可以用谢乐公式算晶粒尺寸。XRD图谱峰高如果是相对背地强度高，表示晶相含量高，XRD残余应力检测测试，跟面积表示晶相含量一致。

XRD图谱峰高如果是A峰相对B峰高很多，两峰的高度比“A/C”相对标准粉末衍射图对应峰的高度比要大很多，那么这个材料是A方向择优取向的热重曲线热重分析得到的是程序控制温度下物质质量与温度关系的曲线。

即热重曲线(TG）曲线，横坐标为温度或时间，纵坐标为质量，也可用失重百分数等其它形式表示。由于试样质量变化的实际过程不是在某一温度下同时发生并瞬间完成的，因此热重曲线的形状不呈直角台阶状，而是形成带有过渡和倾斜区段的曲线。

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X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法应力是通过应变来进行测定的，对于多晶体材料而言，残余应力所对应的应变被认为是相应区域里晶格应变的统计结果，因此依据X射线衍射原理测定晶格应变，即可计算残余应力。

X射线衍射残余应力测定的sin2ψ法

材料的残余应力与宏观应变相对应，宏观应变被认为等同于晶格应变，晶格应变即晶面间距的相对变化，而晶面间距的变化可以通过衍射装置依据布拉格定律求出，这便是X射线衍射残余应力测定法的完整思路。

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