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重庆AlGaN材料XRD检测 半导体XRD物相分析

发布日期 :2022-10-30 10:12发布IP:123.58.44.124编号:10772392
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AlGaN材料XRD检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,重庆AlGaN材料XRD检测,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

物相定性分析中追求数据吻合程度时,

(1)d值比I/I1值更重要,更优先。因为d测试精度高,重现性好;而强度受纯度(影响分辨率)、结晶度(影响峰形)样品细微度(同Q值时吸收不同),辐射源波长(同d值,AlGaN材料XRD检测费用多少,角因子不同)、样品制备方法(有无择优取向等)、测试方法(照相法或衍射仪法)等因素影响,不易固定。

(2)低角度衍射线比高角度线重要。对不同晶体而言低角度线不易重迭,而高角度线易重迭或被干扰。

(3)强线比弱线重要。尤其要重视强度较大的大d值线。

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具有主要已知取向的晶体可以用固定的排列方式进行布置,但偏离它的范围一般是在几度,有时偏差会达到十几度。在特殊情况下(立方晶体),它也适用于任意取向。

常规晶格的方向是和转台的旋转轴保持一致,获得晶体表面参考的一种可能性是将其地放置在调整好旋转轴的测量台上,并将测量装置安装在测量台下面。

如果要研究大晶体,或者要根据测量结果进行调整,就把晶体放置在转台上。

上表面的角度关系可以通过附加的光学工具获取。方位角基准也可以通过光学或机械工具来实现。




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X射线物相分析

X射线照射晶体物相产生一套特定的粉未衍射图谱或数据D-I值。其中D-I与晶胞形状和大小有关,相对强度I/I0,与质点的种类和位置有关。

与人的手指纹相似,每种晶体物相都有自己的XPD谱。不同物相物质即使混在一起,它们各自的特征衍射信息也会独立出现,互不干扰。据此可以把任意纯净的或混合的晶体样品进行定性或定量分析。




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