AlGaN材料XRD检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
XRD、IR、SEM、EDS及紫外可见吸收的测试原理
SEM:材料的表面形貌,形貌特征。配合EDX可以获得材料的元素组成信息
TEM:材料的表面形貌,结晶性。配合EDX可以获得材料的元素组成
FTIR:主要用于测试高分子有机材料,确定不同高分子键的存在,AlGaN材料XRD检测测试,确定材料的结构。如单键,双键等等
Raman:通过测定转动能及和振动能及,用来测定材料的结构。
CV:CV曲线可以测试得到很多信息,比如所需电沉积电压,电流,以及半导体行业可以得到直流偏压
EIS:EIS就是电化学交流阻抗谱测试可以得到电极电位,阻抗信息,从而模拟出系统内在串联电阻,并联电阻和电容相关信息
BET:主要是测试材料比表面积的,可以得到材料的比表面积信息。
XRD:主要是测试材料的物性,晶型的。的XRD还可以测试材料不同晶型的组分。
质谱:主要用于鉴定材料的化学成分,包括液相质谱,AlGaN材料XRD检测多少钱,气象质谱
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小角衍射几何分类:
(1)共面非对称衍射(EAD),这种小角衍射的几何特点是衍射平面与样品表面之间形成近似布拉格角,此时,X射线的入射角与衍射角比较小,衍射线和入射线以及样品表面的法线在同一个平面。
(2)共面掠入射衍射(GID),这种情况下掠入射衍射面和样品表面互相垂直,入射X射线和出射X射线与样品表面之间的角度都很小,此时,衍射线和入射线以及样品表面的法线在同一平面。
(3)非共面掠射衍射,这种情况下的小角衍射的几何特点就是把共面非对称衍射和共面掠入射衍射几何特点的联合。它含有与样品表面法线倾斜成很小角度的原子平面的衍射,所以样品表面和倒易矢量之间的角度很小;也能够通过小角度入射或者小角度出射的微小改变形成的小角X射线非对称衍射。入射线,反射线和衍射线不在同一平面,但均与样品表面间存在较小的夹角并且反射平面和样品表面垂直。
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xrd原理
XRD的基本原理:X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射,主要有连续X射线和特征X射线两种。
XRD 即X-ray diffraction 的缩写,X射线衍射,通过对材料进行X射线衍射,分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。
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