XRD掠入射(GIXRD)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
5.自己使用仪器测试,测样前处理样品是否需要固体研磨时间?一份样品是否多测两次观察是否有较大差异?仪器是否有定期的矫正方法或者可以使用标准样品矫正?
答:一般情况下,处理样品不需要固体研磨时间,只要样品的粒度达到要求即可;同一样品没有必要多测两次观察是否有差异,因为X射线衍射仪短期内是不会出现测样误差的;X射线衍射仪有定期的矫正方法,具体到不同型号方法不同,可以咨询应用工程师;也可以用标准物质进行矫正。
6.点光源和线光源测试的结果一致吗?
答:不一致,两种光源的应用范围不同,XRD掠入射(GIXRD)检测费用多少,线光源用于常规粉末的定性定量分析、薄膜的掠入射和反射率分析等;点光源常用于织构、应力、微区等分析。
7.块体样品在对峰时需要注意什么?
答:块体样品在对峰时需要注意的地方和粉末样品一样;在测试的时候需要注意块体的高度,如果过高的话,X射线会打到块体的侧面,影响实验结果。
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X射线发生器
X射线发生器由X射线管、高压发生器、管压和管流稳定电路以及保护电路等组成。这里着重介绍X射线管。X射线管的实质是个真空二极管,其阴极是钨丝,阳极为金属片。
在阴极两端加上电流之后,钨丝发热,产生热辐射电子。这些电子在高压电场作用下被加速,轰击阳极(又称靶),产生X射线(此过程产生大量热量,为了保护靶材,必须确保循环水系统工作正常)。
常见的阳极靶材有:Cr, Fe, Co,XRD掠入射(GIXRD)检测平台, Ni, Cu, Mo, Ag, W,常用的是Cu靶。
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在做单晶X射线衍射(单晶XRD)测试时,广东省科学院半导体研究院在与很多同学沟通中了解到,好多同学对单晶XRD测试不太了解,针对此,广东省科学院半导体研究院团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,XRD掠入射(GIXRD)检测报告,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;
大小
受吸收和光斑大小的限制,不一定是越大越好;
晶体不大于准直器直径,一般0.2-0.5 mm,山东XRD掠入射(GIXRD)检测,取决于晶体的组分和光源强度;
含有金属的化合物或使用铜光源时,晶体可以小些;有机化合物晶体或使用钼光源时,可以大些。
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