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河北XRD掠入射(GIXRD)检测 半导体单晶XRD靠谱

发布日期 :2023-04-28 13:24发布IP:123.58.44.124编号:11808293
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XRD掠入射(GIXRD)检测XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,XRD掠入射(GIXRD)检测平台,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


为了掌握X射线衍射残余应力测定技术,有必要其方法进行归纳。

X射线衍射残余应力测定方法分类

(1) X射线衍射残余应力测定方法可分为sin2ψ法、cosα法。

(2) sin2ψ法按照残余应力计算方法分类,XRD掠入射(GIXRD)检测分析,可分为2θ法、d值法、应变法。

(3) sin2ψ法按ψ与2θ的几何关系分类,可分为同倾法、侧倾法。

(4) 按X射线管、计数管扫描方式可分为固定ψ0法,固定ψ法。

(5) 侧倾法又可分为标准的侧倾法、修改的侧倾法、侧倾固定ψ法。

(6) 测定剪切应力τφ采用的正负ψ测定法。

(7) X射线衍射法一般是测方向的应力,也有点的主应力测定法。

(8) 摆动法可分为ψ0摆动法、ψ摆法、德拜环摆动法、φ角摆动法和X/Y往复平移法等。

(9) 从衍射几何分类,有聚焦法、准聚焦法和平行光束法。




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喷丸强化中的XRD残余应力检测

冷加工引起的塑性变形会导致#残余应力检测#残余应力的产生。残余应力的程度和性质(拉应力或压应力)取决于加工过程的程度和类型。

喷丸强化是一种冷加工工艺,在该工艺中,零件表面用称为喷丸的小球进行喷丸处理。该过程会在零件表面引起塑性变形,减少零件表面拉应力并引入有益的残余压应力。喷丸强化是类似于表面滚压的过程,两者都是表面塑性变形以形成残余压应力的深度分布。

在零件表面引入残余压应力可提高对疲劳失效和应力腐蚀开裂 (SCC) 的抵抗力,从而延长零件的使用寿命。

对钢、铝合金、钛合金、镍基合金和一些陶瓷来说很容易进行喷丸强化处理。而对于需要高循环疲劳和强度的零件,如弹簧、齿轮、凸轮轴、曲轴和涡轮叶片来说,喷丸强化是生产中关键的一步。

喷丸强化过程中的应力形成

典型的喷丸强化表面应力深度分布。在这个例子中,超过400 MPa 的残余压应力会在组件的次表面产生,在深度上应力方向和应力值的变化可通过 X 射线衍射法来确认。



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晶面衍射方位角ψ

依据光学的反射定律,参与衍射的晶面,其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上,如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角,通常用ψ表示。

依据布拉格定律,可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0,便可以测定方位上的晶格应变εψ。

sin2ψ法的适用范围

S1,S2与S3为试样表面坐标轴,S1由研究人员定义。图3为X射线衍射残余应力测定坐标系统。

依据广义胡克定律,这些晶面的应变是由O点的应力张量决定的,并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此,有可能依据这些的关系求得O点的三维应力,包括应力σφ。由弹性力学可以导出OP方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说,X射线穿透深度只有几微米至几十微米,因此通常假定σ33=0。


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