XRD掠入射(GIXRD)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,XRD掠入射(GIXRD)检测测试,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
反复地分析。
JADE或者其它相似的软件都存在一个问题,也许不是它本身的问题。也许某次检索出来的卡片与下一次检索出来的卡片会有不同,也许不同的时候你考虑的方面不同而使你选择了不同的卡片。因此,反复地分析一个样品,你会得出不同的结论。经过多次反复地检索,在多个结论中再作取舍,也许就是真实的结果了。说起来,好象没个完,还有一些东西也是可以用上的,比如颜色。如果检索出来的某个物相的颜色同实际样品的颜色相去甚远,则肯定不是准确的结果。
限于时间,不想耽误大家更多的时间,就说这么些。说到这里,还想说上一句。假如,你有什么样品的衍射谱希望论坛里的同行帮你分析一下,你好告诉一下:
1 样品中可能存在的元素
2 样品中可能存在的物相
你也应当理解:
1 不是你的同行,分析出来的结果当然有可能不对;
2 因为你给的已知条件太少,香港特别行政XRD掠入射(GIXRD)检测,因此,人家分析不出准确的结果;
3 因为物相的含量低于XRD检出的下限,因此,你希望找出来的那个物相偏偏就是看不到。
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工艺检测的目的不只是搜集数据,更重要的是要把不断产生的大量检测数据及时整理分析,不断揭示生产过程中存在的问题,向工艺控制反馈,XRD掠入射(GIXRD)检测费用多少,使之不致偏离正常的控制条件。因而对大量检测数据的科学管理,保证其能够得到准确和及时的处理,是半导体工艺检测中的一项重要关键。同时半导体检测也涉及大量的科学仪器,针对于此,对一些半导体检测的仪器进行介绍。
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好有其它分析、测量得到的化学、物理信息要紧的是需要比较可靠的化学组成分析结果,用来计算出化学式;如有可能,好能测定出样品密度,以便用于计算晶胞内容。可以用专门的仪器测定密度。如果自己手头缺乏密度测定仪器,可以把粉末压片,用千分尺量出样品直径和厚度计算体积,用电子天平测出重量,得到实验测量的密度值(肯定比理论值小,因为有空隙),但比没有数据好多了。
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